概述
nXDSi 是下一代完全無油的干式渦旋泵，并取代 XDS。nXDS 提高了傳統(tǒng)泵的性能，抽速更高，極限壓力更低，功耗更低，噪聲更小。氣鎮(zhèn)允許泵送冷凝性蒸汽，包括水、溶劑、稀酸和堿。nXDS 還采用了新的端部密封技術，顯著延長了端部密封更換的時間間隔。具有自動電壓輸入感知功能的集成變頻器驅動提供整體優(yōu)化的泵送性能，nXDS 可完全進行現(xiàn)場維修。
一般清潔泵送應用
電子掃描顯微鏡 - SEM
射束線和高能物理
前級渦輪泵
超高速離心機
覆層
低溫學
脫氣/硫化 - 油，環(huán)氧樹脂
蒸餾/萃取/過濾
冷凍干燥
熔爐
凝膠體干燥
實驗室工作臺上真空
激光、氣體回收和再循環(huán)
氦檢漏儀
負載鎖和傳輸腔
稀有氣體再循環(huán)
稀有氣體回收
冷凍制造
研發(fā)
旋轉離心蒸發(fā)器
SEM/FIB（離子束維修）
溶劑回收
表面科學儀器
真空外殼中不需要使用潤滑劑，完全密封可保證徹底的清潔和干燥真空，防止交叉污染
無大氣壓到真空的軸封可使軸承完全隔離，從而阻止制程攻擊，軸承也能以更低溫度運行，使用時間更長
簡單的單側滾軸布置與創(chuàng)新的電機和軸承設計相結合，只需低程度的特殊工具，就能實現(xiàn)輕松的現(xiàn)場服務，因此可降低運行成本，盡可能延長正常運行時間
改進了電機和傳動效率，可降低功耗和運行成本
先進的接口提供了各種傳統(tǒng)、模擬和數(shù)字控制方法，可通過 USB、RS232 或 RS485 實現(xiàn)遠程控制/監(jiān)視
技術數(shù)據(jù)
標稱旋轉速度 | 1800 rpm | 1800 rpm | 1800 rpm | 1800 rpm |
排量 | 6.8 m3h-1 | 12.7 m3h-1 | 17.1 m3h-1 | 28.0 m3h-1 |
峰值抽速 | 6.2 m3h-1 | 11.4 m3h-1 | 15.1 m3h-1 | 22.0 m3h-1 |
極限真空（總壓力） | 0.020 mbar | 0.007 mbar | 0.007 mbar | 0.030 mbar |
小待機旋轉速度 | 1200 rpm | 1200 rpm | 1200 rpm | 1200 rpm |
速度控制精度 |
|
|
|
|
（以全速百分比表示） | 1% | 1% | 1% | 1% |
小轉速時的抽速 | 4.1 | 7.5 | 9.9 | 10 |
大連續(xù)進氣口壓力 | 200 mbar | 200 mbar | 200 mbar | 50 mbar |
電機功率（一相） | 260 W | 280 W | 300 W | 260 W |
電源連接器（1 相） | IEC EN60320 C13 | IEC EN60320 C13 | IEC EN60320 C13 | IEC EN60320 C13 |
推薦保險絲 | 10A，250Vac rms | 10A，250Vac rms | 10A，250Vac rms | 10A，250Vac rms |
重量 | 26.2 kg / 58 lb | 25.8 kg / 57 lb | 25.2 kg / 56 lb | 25.6 kg / 56 lb |
入口法蘭 | NW25 | NW25 | NW25 | NW25 |
排氣口法蘭 | NW25 | NW25 | NW25 | NW25 |
噪音級別 | 52 dB(A) | 52 dB(A) | 52 dB(A) | 52 dB(A) |
入口法蘭處抗振性 | < 4.5 mms-1 (rms) | < 4.5 mms-1 (rms) | < 4.5 mms-1 (rms) | < 4.5 mms-1 (rms) |
密封性（靜態(tài)） | < 1x10-6 mbar ls-1 | < 1x10-6 mbar ls-1 | < 1x10-6 mbar ls-1 | < 1x10-6 mbar ls-1 |
工作溫度范圍 | 10 至 40 °C / 41 至 104 °F | 10 至 40 °C / 41 至 104 °F | 10 至 40 °C / 41 至 104 °F | 10 至 40 °C / 41 至 104 °F |
