排氣管道內輸送阻力太大。
檢查清洗管道，更換管路及閥門。
二、吸入管道泄漏。
檢查吸入管道接頭，以及螺栓的擰緊力矩；檢查吸入口的密封墊；檢查泵殼上螺栓的擰緊力矩；檢查泵上的密封墊，更換新的密封墊。
三、轉速太低。
檢查電機頻率及電壓。
四、旋轉方向錯誤。
依照真空泵旋轉方向的指示箭頭，重新安裝接電機的電源線或調接相位
五、吸入管道橫斷面面積縮小
清洗吸入口過濾器，清楚吸入管道內的沉積物或更換吸入管
六、電機驅動異常。
關閉電動機，等待及其停穩(wěn)后，重新啟動電動機。
七、電動機旋轉方向錯誤。
改變電動機旋轉方向。
